[发明专利]像质补偿装置、方法和光学成像系统在审
| 申请号： | 201911382724.6 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN113050382A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 王进霞;侯宝路;丁杨建;孙俊阳 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种像质补偿装置、方法和光学成像系统，所述像质补偿装置包括像质检测机构、处理器、至少一补偿镜片和至少一角度控制机构，像质检测机构与处理器相连，所述补偿镜片与所述角度控制机构相连；像质检测机构用于检测光学成像系统的像质数据并传输给处理器；处理器用于根据获取的像质数据，计算出补偿镜片的角度调整量；角度控制机构用于根据角度调整量，使补偿镜片旋转相应角度，以改变补偿镜片的面型，进而实现像质的补偿。本发明结构简单，装配难度低，可以使得补偿镜片360度旋转以进行像质补偿，易于调节，有效提高像质补偿的稳定性和可靠性，保证成像质量。 | ||
| 搜索关键词： | 补偿 装置 方法 光学 成像 系统 | ||
【主权项】：
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