[发明专利]薄膜水汽透过率的测试装置及测试方法在审

专利信息
申请号: 201911382976.9 申请日: 2019-12-28
公开(公告)号: CN111044431A 公开(公告)日: 2020-04-21
发明(设计)人: 杨永强;段羽;赵宇;李俊霖;唐延甫;李忠明;李洪雨 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G01N15/08 分类号: G01N15/08
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 曹卫良
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明公开一种薄膜水汽透过率的测试装置及测试方法,其中的方法包括:S1、将被测样品放置在测试光路中,光源发出的光经准直光学系统准直成准直光后入射到第一分光棱镜上,通过第一分光棱镜将准直光分成测量光和参考光;S2、测量光和参考光通过遮光板的开合控制分别进入图像采集相机,得到样品图像和参考图像;其中,测量光穿过被测样品进入到图像采集相机,参考光不穿过被测样品进入图像采集相机;S3、根据样品图像和参考图像计算被测样品的透过率变化系数;S4、根据该透过率变化系数计算水汽透过率。本发明通过利用钙单质与水汽反应过程中透过率的变换情况计算得到薄膜的水汽透过性能,有效提高薄膜水汽透过率的测试精度,测试精度可达10‑6g/m2/day。
搜索关键词: 薄膜 水汽 透过 测试 装置 方法
【主权项】:
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