[发明专利]一种闪蚀药水及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 201911384028.9 申请日: 2019-12-28
公开(公告)号: CN111117626B 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 刘江波;李晓红;王亚君 申请(专利权)人: 苏州天承化工有限公司
主分类号: C09K13/06 分类号: C09K13/06;H05K3/06
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 巩克栋
地址: 215124 江苏省苏州市吴中*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明提供了一种闪蚀药水及其制备方法和应用,所述闪蚀药水包括溶解在去离子水中的如下组分:硫酸50‑100g/L;过氧化氢10‑50g/L;铜离子5‑45g/L;混合醇10‑35g/L;余量为去离子水;其中,所述混合醇为任意两种醇的组合。本发明提供的闪蚀药水可以有效地去除底铜并减少侧蚀,同时有效地保护了线路的棱角,维持线路截面的矩形形状,可适用于MSAP工艺;同时,本发明提供的闪蚀药水具有较好的储存稳定性。
搜索关键词: 一种 药水 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
暂无信息
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