[发明专利]含金刚烷结构的光刻胶产酸树脂单体及其合成方法在审
申请号: | 201911384569.1 | 申请日: | 2019-12-28 |
公开(公告)号: | CN111138410A | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 李嫚嫚;蒋小惠;毕景峰;郭颖;王尹卓 | 申请(专利权)人: | 上海博栋化学科技有限公司 |
主分类号: | C07D333/76 | 分类号: | C07D333/76;G03F7/027 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201614 上海市松江*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: |
本发明公开了一种含金刚烷结构的光刻胶产酸树脂单体及其合成方法,属于化学合成及光刻材料领域。该光刻胶产酸树脂单体的结构通式为: |
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搜索关键词: | 金刚 结构 光刻 胶产酸 树脂 单体 及其 合成 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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