[发明专利]含金刚烷结构的光刻胶产酸树脂单体及其合成方法在审

专利信息
申请号: 201911384569.1 申请日: 2019-12-28
公开(公告)号: CN111138410A 公开(公告)日: 2020-05-12
发明(设计)人: 李嫚嫚;蒋小惠;毕景峰;郭颖;王尹卓 申请(专利权)人: 上海博栋化学科技有限公司
主分类号: C07D333/76 分类号: C07D333/76;G03F7/027
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201614 上海市松江*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种含金刚烷结构的光刻胶产酸树脂单体及其合成方法,属于化学合成及光刻材料领域。该光刻胶产酸树脂单体的结构通式为:式中,R1为烷基或环烷基;R2为共价键、烷基、氟代烷基、含氧原子的烷基、含氧原子的氟代烷基中的一种;R3为氢或甲基。该光刻胶产酸树脂单体将光致产酸剂与树脂结合,能有效防止光致产酸剂曝光后烘过程中的酸扩散,改善光刻图形的边缘粗糙度,另外,该树脂单体阳离子部分还有可降解基团,曝光前后在显影液中溶解速度差增大,提高了分辨率。
搜索关键词: 金刚 结构 光刻 胶产酸 树脂 单体 及其 合成 方法
【主权项】:
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