[发明专利]由戊醛糖合成的光刻胶树脂单体及其合成方法

摘要

本发明公开了一种由戊醛糖合成的光刻胶树脂单体及其合成方法，属于化学合成及光刻材料领域。该光刻胶树脂单体的结构通式为：式中，R1为氢或者甲基；R2为烷基或者环烷基；M为二价的连接基团。该光刻胶树脂单体的合成方法为：将含羟基的醛或酮与丙烯酸类化合物进行反应，得到中间体；将所述中间体与戊醛糖在酸催化下进行反应，得到所述光刻胶树脂单体。本发明提供的光刻胶树脂单体具有增加抗蚀性、改善树脂与晶圆的粘附性、增加树脂在碱性显影液中的溶解度、有利于改善边缘粗糙度以及提高分辨率的特点。