[发明专利]一种特定形貌二硫化钨的制备方法有效
申请号: | 201911385340.X | 申请日: | 2019-12-28 |
公开(公告)号: | CN111041449B | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 董孟孟;吕燕飞;赵士超 | 申请(专利权)人: | 杭州电子科技大学 |
主分类号: | C23C16/30 | 分类号: | C23C16/30;C23C16/455;C23C16/02;C01G41/00 |
代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 杨舟涛 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种特定形貌二硫化钨的制备方法,本方法以氩气和氢气为载气,金属钯作为催化剂,在高温下通过CVD法合成具有三角形框架结构的二硫化钨。与现有的CVD法合成的三角形、六边形实心连续薄膜相比,该方法得到的二硫化钨薄膜中的边缘原子在总原子数中的占比增大,提高二硫化钨用作催化剂材料时的催化活性。 | ||
搜索关键词: | 一种 特定 形貌 硫化 制备 方法 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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