[发明专利]密封检测装置与方法在审
| 申请号： | 201911387535.8 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN113122899A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 贾照伟;盛俊威;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D21/12 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种密封检测装置与方法，密封检测装置包括：第一电极、第二电极、连接第一电极和第二电极的电流检测模块以及连接电流检测模块的判断模块；电镀设备所夹持的基板表面被密封件分隔为第一区域和第二区域；第一电极接触连接第一区域，第二电极通过电镀液连接第二区域，第一电极、基板、第二电极和电流检测模块之间构成检测回路；电流检测模块通电检测检测回路的实际电流值，判断模块获取实际电流值并判断密封件的密封性。本发明通过引入电流检测模块对密封件的密封性能进行检测，实现了对密封件密封性能的自动化检测，避免了现有技术中目检检测所造成的漏检误检，提高了电镀设备的工艺稳定性和稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 密封 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盛美半导体设备（上海）股份有限公司，未经盛美半导体设备（上海）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911387535.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：晶圆夹持装置
- 下一篇：一种长桁与蒙皮组合结构剪切疲劳试验载荷确定方法
