[发明专利]一种金属冗余图形的添加方法在审

专利信息
申请号: 201911387929.3 申请日: 2019-12-30
公开(公告)号: CN111199132A 公开(公告)日: 2020-05-26
发明(设计)人: 张美丽 申请(专利权)人: 上海集成电路研发中心有限公司
主分类号: G06F30/392 分类号: G06F30/392
代理公司: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吴世华;马盼
地址: 201210 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种金属冗余图形的添加方法,包括如下步骤:S01:提供原始版图;S02:通过版图逻辑运算找出金属线中距离相邻金属线的距离大于等于距离阈值的金属边;S03:将所述金属边向外分别扩大W1和W2,形成多边形m1和m2,通过逻辑运算,得出所述多边形m1和m2重叠的部分,即为临时金属冗余图形;S04:对所述临时金属冗余图形进行后处理,即可得到待添加的金属冗余图形;S05:通过版图逻辑运算找出步骤S04中所述金属冗余图形中距离相邻金属线的距离大于等于距离阈值的金属边,重复步骤S03‑S04N次,完成原始版图中金属冗余图形的添加。本发明提供的一种金属冗余图形的添加方法,大大提高了小线宽金属线刻蚀之后线宽的均匀性,减小金属线AEI CD的差异。
搜索关键词: 一种 金属 冗余 图形 添加 方法
【主权项】:
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