[发明专利]一种电子束诱导的图案化石墨烯及其制备方法有效
| 申请号： | 201911390975.9 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN110980704B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 王振洋;李年;江海河;张淑东;刘翠;蒋长龙;刘变化 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | C01B32/184 | 分类号： | C01B32/184 |
| 代理公司： | 合肥国和专利代理事务所(普通合伙) 34131 | 代理人： | 孙永刚 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及石墨烯材料制备领域，提出一种电子束诱导的图案化石墨烯及其制备方法。本发明采用金属纳米材料对聚合物进行掺杂，然后利用电子束以扫描方式辐照聚合物表面，在电子束的高瞬时能量和金属纳米材料的催化下，聚合物表面直接转化为高质量石墨烯。在制备的同时，利用电子束的高指向性，还可以同步的得到图案化的石墨烯，从而有利于直接将其纳入电子器件中进行应用。由于电子束的束斑直径可控范围大，一方面可以利用毫米级的束斑实现高效率的石墨烯制备，另一方面也可以根据需要利用纳米级的束斑实现高精度的石墨烯图案化。本发明制备的石墨烯性能优异，且操作简单、原料易得，可以满足不同应用需求，尤其是在电子器件领域的应用，因此便于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 诱导 图案 化石 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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