[发明专利]一种高品质因数的薄膜体声波谐振器的优选结构有效
| 申请号： | 201911392190.5 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN113131893B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 赵洪元;夏燕 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 吴树山 |
| 地址： | 210016 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高品质因数的薄膜体声波谐振器的优选结构，包括上表面带有凹槽的衬底、位于衬底上方的底电极层、压电层，其特征在于，还包括带有凸形空气桥结构的顶电极层，凸形空气桥结构内设有可起到对横向声波回弹作用的声回弹结构；所述声回弹结构的上下两端面分别与压电层和空气桥结构紧贴，形成水平传播方向的声阻抗不匹配界面；声回弹结构为与凸形空气桥结构的桥腔相向的多面体并以竖式设置在压电层与空气桥结构的桥腔悬空区域，声回弹结构的上端面嵌入并与凸形空气桥结构的桥腔仰顶侧面的凹槽紧贴，声回弹结构的下端面与压电层的上方紧贴；声回弹结构的左侧面和右侧面分别与凸形空气桥结构的桥腔支撑结构相邻的内侧面之间留有空气间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 品质因数 薄膜 声波 谐振器 优选 结构 | ||
【主权项】：
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