[发明专利]基板转移和切断装置以及基板转移和切断方法在审
| 申请号： | 201911392535.7 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111421684A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 金荣男 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;C03B33/03 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供基板转移和切断装置以及基板转移和切断方法，通过与基板的搬运位置联动地适当变更转移部和吸附部中至少一方的位置，可消除基板与吸附部间的非吸附区域，使划线头或断开杆与基板的上表面垂直抵接，正确形成划线，使裂纹满意地伸展，提高基板的切断质量。基板转移和切断装置包括设置台；转移部，设置于设置台，转移装载的基板；及吸附部，设置于设置台，吸附固定被转移的基板，转移部和吸附部在基板转移方向彼此隔开间隔设置，转移部包括在基板转移方向设置于上游侧的第一转移台；在基板转移方向设置于第一转移台下游侧的第二转移台；及在基板转移方向设置于吸附部下游侧的第三转移台，第二转移台和第三转移台形成为可移动。 | ||
| 搜索关键词： | 转移 切断 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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