[发明专利]一种热电式自检测MEMS微波功率分配器及其制备方法有效
| 申请号： | 201911393741.X | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111049597B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 张志强;郑从兵;黄晓东 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H04B17/00 | 分类号： | H04B17/00;H01P5/16 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 朱小兵 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种热电式自检测MEMS微波功率分配器及其制备方法，所述热电式自检测MEMS微波功率分配器包括位于砷化镓衬底上的微波功分器以及三个MEMS微波功率传感器；所述微波功分器为“T”型对称结构，包括三个端口；每个所述MEMS微波功率传感器通过CPW结构与所述微波功分器的一个端口相连，所述MEMS微波功率传感器用于测量三个所述端口处微波功率大小。本发明在线测量出输入和输出端口处微波功率大小，实现了MEMS微波功率分配器的实时在线功率自检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热电 检测 mems 微波 功率 分配器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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