[发明专利]一种宽谱线高分辨率光学系统有效
申请号: | 201911394279.5 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN113126311B | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 刘鹏 | 申请(专利权)人: | 张家港中贺自动化科技有限公司 |
主分类号: | G02B27/58 | 分类号: | G02B27/58;G02B27/00;G01N21/956 |
代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人: | 杨淑霞 |
地址: | 215614 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种宽谱线高分辨率光学系统,其包括:光源单元、照明单元、成像单元;光源单元包括:光源以及聚光元件,照明单元包括:匀光部件和第二照明镜头,经过第二照明镜头的光束投射至第二照明面;成像单元包括:第一成像镜头,其包括依次设置的:第一成像镜组、第二成像镜组以及第三成像镜组。本发明的宽谱线高分辨率光学系统区别于现有技术,其检测视场(FOV)较小时,数值孔径(NA)比较大,接近于1,分辨率比较高;当检测视场(FOV)变大时,数值孔径(NA)不会相应减小,而是保持基本不变,其分辨率也会保持基本不变。(NA)*(FOV)会随着(FOV)增大而按比例增大,实现高分辨率大视场的效果,最终实现高分辨率的快速检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 宽谱线 高分辨率 光学系统 | ||
【主权项】:
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