[发明专利]宽谱线大视场物镜有效
| 申请号： | 201911394296.9 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN113126284B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏 | 申请（专利权）人： | 张家港中贺自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B13/00 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 杨淑霞 |
| 地址： | 215614 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种宽谱线大视场物镜，其包括依次设置的：第一成像镜组、第二成像镜组以及第三成像镜组；所述第二成像镜组中，至少有2片正透镜满足关系式：Dop0.7×D1，且其中焦距最短的2片正透镜满足关系式：0.7＜(1/fp1+1/fp2)×f2＜1.9；至少有2片负透镜满足关系式：Dop0.7×D1，且其中焦距的绝对值最短的2片负透镜满足关系式：0.45＜|1/fm1+1/fm2|×f2＜1.4。本发明的宽谱线大视场物镜适于在200nm至450nm的深紫外波长范围使用，其通过设置第一成像镜头，具有提高放大倍率，并缩短整个系统长度，节省空间的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 宽谱线大 视场 物镜 | ||
【主权项】：
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