[发明专利]一种硅片加工切削用切削液冷却装置在审
| 申请号： | 201911394308.8 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111037359A | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 杨兆安 | 申请（专利权）人： | 杨兆安 |
| 主分类号： | B23Q11/10 | 分类号： | B23Q11/10 |
| 代理公司： | 北京艾皮专利代理有限公司 11777 | 代理人： | 郭童瑜 |
| 地址： | 322300 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片加工切削用切削液冷却装置，包括冷却箱，所述冷却箱的内部设置有第一空腔、第二空腔和第三空腔，且第一空腔与第二空腔之间固定有支撑板，所述第二空腔与第三空腔之间固定有隔板，所述第三空腔的一侧内壁开设有进水口，所述第三空腔的一侧内壁开设有排水口，且进水口的内壁和排水口的内壁均设置有密封塞，所述第三空腔的顶部内壁和隔板的顶部外壁均开设有进液口，且两个进液口的内壁边缘处之间均通过法兰连接有导液管。本发明能够防止由于切削液的流动速度较快导致切削液堆积在一起对切削液的冷却效率造成影响，能够防止切削液堆积在一起对切削液的冷却效率造成影响，能够有效的对切削液进行冷却处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 加工 切削 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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