[发明专利]宽谱线大视场物镜系统有效
| 申请号： | 201911394405.7 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN113126285B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏 | 申请（专利权）人： | 张家港中贺自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B13/00 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 杨淑霞 |
| 地址： | 215614 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种宽谱线大视场物镜系统，其包括：第一成像镜头以及至少一个第二成像镜头；各成像镜头依次设置，任一成像镜头对应一像面，来自所述照明单元的光束依次经第一成像镜头以及至少一个第二成像镜头成像后逐级放大，所述第一成像镜头包括依次设置的：第一成像镜组、第二成像镜组以及第三成像镜组，所述第二成像镜头包括依次设置的：第四成像镜组、成像孔径光阑、第二正光焦度的子镜组。本发明的宽谱线大视场物镜系统适于在200nm至450nm的深紫外波长范围使用，其通过设置第一成像镜头以及至少一个第二成像镜头，具有提高放大倍率，并缩短整个系统长度，节省空间的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 宽谱线大 视场 物镜 系统 | ||
【主权项】：
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