[发明专利]一种高性能铁磁性靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201911395580.8 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111118459A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 罗俊锋;郭力山;熊晓东;徐国进;张巧霞;刘芳;李勇军;庞欣;刘丹 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01F41/18 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 黄家俊 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了属于靶材制备技术领域的一种高性能铁磁性靶材的制备方法，所述方法包括，首先准备靶坯和背板，将靶坯加工至成品厚度尺寸，然后采用温差法焊接，保证靶材平面度，通过振动时效消除焊接内应力，最后通过加工背板完成靶材成品制备，所述方法适用于制备直径为Φ300‑450mm的大面积靶坯。采用本发明所述方法制备的大面积高纯铁磁性金属靶材厚度均匀性好，焊接应力小，透磁率分布均匀，靶材溅射薄膜均匀性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 性能 铁磁性 制备 方法 | ||
【主权项】：
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