[发明专利]一种离轴非球面反射镜的参数检测方法有效
| 申请号： | 201911395854.3 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111023973B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 王兴;马冬梅;武志勇 | 申请（专利权）人： | 长光卫星技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24;G01B11/255 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130000 吉林省长*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种离轴非球面反射镜的参数检测方法，包括：根据待检镜制作非球面标准具，在其正面或抛光后的背面刻蚀标准刻线；将待检镜放置于非球面标准具上，当干涉条纹数量最少时，通过标准刻线判读待检镜的外边缘与非球面标准具的中心的距离A和内边缘与中心的距离B，并根据距离A、距离B计算待检镜的离轴量；根据干涉条纹数量计算光程差，再根据光程差和待检镜的凹凸类型计算得到待检镜与非球面标准具的非球面曲率偏差，根据干涉条纹数量和干涉条纹形状可以确定待检镜与非球面标准具之间的面形偏差。本发明可以通过一次检测同时获得待检镜的离轴量、非球面曲率偏差、面形偏差等信息，提高了离轴非球面反射镜的检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离轴非 球面 反射 参数 检测 方法 | ||
【主权项】：
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