[发明专利]一种用于光学元件精密抛光的可自转可公转的抛光头

摘要

本发明提供了一种用于光学元件精密抛光的可自转可公转的抛光头，包括固定板和公转电机，公转电机下端吊设有偏心调节机构，偏心调节机构下方固定有有公转电机的电机轴带动转动的公转曲柄，所述公转曲柄上固定有自转电机和由自转电机驱动自转的抛光轴，所述抛光轴下端连接有抛光头，固定板上则具有滑轨，滑轨上滑动连接有滑块，公转曲柄与滑块铰接。本发明结构设计合理，抛光头偏心进行公转，抛光头抛光覆盖面积大，去除效率高；在偏心半径范围内，去除速度相同，去除的材料均匀；偏心距离可调整，适合用于不同的抛光工艺；采用双电机驱动，自转、公转速度独立可控。