[发明专利]压力传感器单元及压力传感器有效
| 申请号： | 201911398507.6 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111024279B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;傅棋琪;陈颖 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;G01L9/02 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 李萌 |
| 地址： | 314000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 压力传感器单元及压力传感器，该压力传感器单元包括依次设置的微结构层、柔性导电薄膜层及叉指电极层，在结构层朝向柔性导电薄膜层一侧的表面上形成有多个凸凹微结构。该压力传感器单元具有较高的本征重复性、灵敏度及分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 单元 | ||
【主权项】：
暂无信息
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