[发明专利]一种用于化学机械抛光的承载头及晶圆承载装置在审
| 申请号： | 201911398830.3 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN110834269A | 公开（公告）日： | 2020-02-25 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;刘远航;孟松林 | 申请（专利权）人： | 清华大学;天津华海清科机电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B53/017;H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于化学机械抛光的承载头，其特征在于，包括配置于所述承载头顶部的用于将承载头装配至驱动单元的法兰盘，所述法兰盘具有定位销，所述定位销的主体由金属材料制成并且其部分或全部表面设置有避免产生磨损的非金属结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 化学 机械抛光 承载 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学;天津华海清科机电科技有限公司，未经清华大学;天津华海清科机电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911398830.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
