[发明专利]一种加速度传感器有效
| 申请号： | 201911398951.8 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111077344B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 胡宸源;涂良成;姜涛;刘骅锋;刘金全 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种加速度传感器，包括：敏感质量、弹簧结构、定电极极板、动电极极板以及外部封装结构；所述敏感质量位于所述外部封装结构的内部，所述弹簧结构将所述敏感质量与外部封装结构连接，所述敏感质量在所述弹簧结构的约束下受外界力的作用而运动；所述定电极极板固定于外部封装结构的内侧；所述动电极极板固定于所述敏感质量的顶部；每个动电极极板与两个定电极极板位置对应，组成一组电极极板；所述动电极极板的平面呈半正弦结构，使得所述敏感质量在平行所述定极板电极所在平面的方向的位移变化对应为动电极极板上感应电压的相位变化。本发明可以获取高精度、大动态范围加速度传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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