[发明专利]柔性复合薄膜及制备方法、柔性压力传感器及制备方法有效
| 申请号： | 201911398996.5 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111122021B | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;杜琦峰;陈颖 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 储照良 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种柔性复合薄膜的制备方法，包括：在第一柔性薄膜的一表面上形成含铁电材料的前驱体层；然后采用激光对该表面进行辐照，使得该表面形成复合结构，复合结构包括石墨烯微结构和嵌设于石墨烯微结构内部和/或表面的铁电材料颗粒；然后将至少部分复合结构转移至第二柔性薄膜的一表面，以在第二柔性薄膜的一表面形成功能层，得到柔性复合薄膜。本发明还提供制备方法得到的柔性复合薄膜，以及柔性压力传感器及其制备方法。本发明的柔性复合薄膜灵敏度高、柔性好。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 复合 薄膜 制备 方法 压力传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学，未经浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911398996.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
