[发明专利]用于产生多个粒子束的设备以及多束式粒子束系统在审
| 申请号： | 201911399513.3 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111383879A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | D.蔡德勒 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/145 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于产生多个粒子束3的设备，该设备包括粒子源11、具有多个开口15的第一多孔板13、具有多个开口19的第二多孔板17、第一粒子透镜21、第二粒子透镜22、第三粒子透镜23以及控制器27，该控制器为第一粒子透镜21、第二粒子透镜22以及第三粒子透镜23中的每一个透镜提供可调节的激励。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 产生 粒子束 设备 以及 多束式 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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