[发明专利]一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置在审
申请号: | 201911400392.X | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN110923653A | 公开(公告)日: | 2020-03-27 |
发明(设计)人: | 马毅;谢续友;黄先伟;俞越翎;张泰华 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/50;C23C14/14 |
代理公司: | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人: | 周红芳 |
地址: | 310014 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置,包括底座,所述底座上设有支撑杆,所述支撑杆末端设有左滑轮,所述左滑轮上通过连杆连接设置右滑轮,所述右滑轮上设有齿轮传动装置;所述左滑轮及右滑轮内分别设有纤维夹持装置,并通过纤维夹持装置将纤维两端固定;所述底座在位于纤维的下方设有靶材。本发明的有益效果是:该装置设计结构简单合理,使用方便,应用本装置为纤维进行磁控溅射镀膜,只需在纤维装夹装置上将纤维装夹好,通过遥控手柄控制纤维的转动,既保证了纤维镀膜的可操作性与可靠性,又保证了纤维表面镀膜的全面性,对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。 | ||
搜索关键词: | 一种 磁控溅射 夹持 纤维 镀膜 装置 | ||
【主权项】:
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