[发明专利]高速半导体激光器及其调谐方法在审
| 申请号： | 201911401921.8 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111064074A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 朱尧;邹易;王任凡 | 申请（专利权）人： | 武汉敏芯半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/10 | 分类号： | H01S5/10;H01S5/12;H01S5/22;H01S5/062;H01S5/0625 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 许美红 |
| 地址： | 430014 湖北省武汉市东湖新技术开发区金融港*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于光电子器件领域，本发明公开了一种高速半导体激光器包括：级联的DFB节和无源腔反馈节，DFB节和无源腔反馈节均为脊波导结构，两个脊之间刻蚀有电隔离槽；所述DFB节从下而上依次设置有第一衬底、第一下缓冲层、光栅层、下分别限制层、有源层、上分别限制层、第一上缓冲层、第一停止腐蚀层、第一包层和第一覆盖层，在第一覆盖层上设有第一电极；所述无源腔反馈节从下而上依次设置有第二衬底、第二下缓冲层、波导芯层、第二上缓冲层、第二停止腐蚀层、第二包层和第二覆盖层，在第二覆盖层上设有第二电极。本发明提供的DFB半导体激光器相对于普通脊波导结构的DFB半导体激光器的调制带宽更大。 | ||
| 搜索关键词： | 高速 半导体激光器 及其 调谐 方法 | ||
【主权项】：
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