[发明专利]样本检验的方法及其系统在审
| 申请号： | 201911402710.6 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111443094A | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 埃拉德·科恩;沙哈尔·阿拉德 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种在样本上进行检验的系统和方法，所述方法包括：获得管芯的检查图像并使用一个或多个参考图像生成缺陷图；从所述缺陷图选择多个缺陷候选；以及对于每个缺陷候选，生成相应修改后的检查图像图块，包括：分别从所述检查图像以及每个参考图像提取在所述缺陷候选周围的图像图块；以及修改所述检查图像图块，包括：估计表示所述检查图像图块上的强度变化的噪声，所述噪声包括表示所述检查图像图块与所述参考图像图块之间的多项式关系的第一类型的噪声、以及表示所述检查图像图块中的空间异常的第二类型的噪声；以及基于所估计的噪声来从所述检查图像图块去除所述第一类型的噪声和所述第二类型的噪声中的至少一种。 | ||
| 搜索关键词： | 样本 检验 方法 及其 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料以色列公司，未经应用材料以色列公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911402710.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：缓存数据回退方法以及缓存数据回退装置
- 下一篇：多连接数据同步处理方法和设备
