[发明专利]含氟树脂化合物、含其的光刻胶组合物及其合成方法有效
| 申请号： | 201911403589.9 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111072836B | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 吴信;梅崇余;冉瑞成;傅志伟;毛国平 | 申请（专利权）人： | 江苏汉拓光学材料有限公司 |
| 主分类号： | C08F212/14 | 分类号： | C08F212/14;C08F220/18;C08F220/24;G03F7/039;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 林高锋 |
| 地址： | 201612 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种含氟树脂化合物，其至少包含衍生自含氟丙烯酸酯的第一重复单元、衍生自羟基苯乙烯的第二重复单元、以及衍生自不含氟丙烯酸酯的第三重复单元。本申请还涉及上述含氟树脂化合物的合成方法。本申请还涉及一种包含如上所述的含氟树脂化合物的光刻胶组合物。包含本申请的含氟树脂化合物的光刻胶组合物可用于解决KrF厚膜光刻胶应用过程中出现的胶膜开裂、侧边形貌差及底部缝隙等问题，膜厚范围可达8‑20μm，胶膜透过率高、附着力强、侧边形貌平滑且具有良好的耐刻蚀性等。 | ||
| 搜索关键词： | 树脂 化合物 光刻 组合 及其 合成 方法 | ||
【主权项】：
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