[发明专利]一种晶片传输系统有效

专利信息
申请号: 201911404448.9 申请日: 2019-12-30
公开(公告)号: CN111092039B 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 刘胜;王诗兆;东芳;薛良豪;李瑞 申请(专利权)人: 武汉大学
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;B25J11/00
代理公司: 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 代理人: 许莲英
地址: 430072 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 一种高效晶片传输系统包括:2个接收超声传感器、耦合机械手、研磨控制台、清洗控制台、抛光控制台、刻蚀控制台、机械手旋转台等,各控制台包括:12发射超声传感器、晶片存储耦合装置、圆形预对准缓存台、预对准旋转台、晶片输出耦合装置等。本发明使用空间三点式确定所放晶片圆心;通过二级定位方式将耦合机械手抓取中心,与晶片圆心对准。耦合机械手在控制台中从晶片存储耦合装置中将单晶片传输到圆形预对准缓存台处理,六片晶片传输完成后实现一次工艺过程,预对准旋转台回到初始位置,晶片存储耦合装置对称旋转;按照相似操作,处理后的六片晶片传输至晶片输出耦合装置。耦合机械手将六片晶片传输至邻控制台的晶片存储耦合装置作下一工序。
搜索关键词: 一种 晶片 传输 系统
【主权项】:
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