[发明专利]过滤储液装置在审
| 申请号： | 201911405046.0 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113117388A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 焦欣欣;胡文俊;吴均;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D21/02 | 分类号： | B01D21/02;B01D21/34 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种过滤储液装置，包括：槽体，其用于容纳化学液；溢流栏，其用于将槽体分隔为第一分槽和第二分槽；溢流栏的高度低于槽体的高度；第一分槽中的化学液通过溢流栏的顶部溢流至第二分槽；回液管路，其连接第一分槽，用于回收化学液并将化学液输送至第一分槽；供液管路，其连接第二分槽，用于从第二分槽向用液设备供给化学液。本发明通过引入由溢流栏分隔的槽体，当化学液从溢流栏的顶部溢流时，颗粒污染物因重力作用自发下沉而被去除，从而得到洁净的化学液。本发明的过滤储液装置能够有效去除循环化学液中的颗粒污染物，其实施和维护过程方便易行，减少了设备过滤器的负荷，能够有效降低设备维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤 装置 | ||
【主权项】：
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