[发明专利]一种基片蒸镀承载盘及真空蒸镀仪在审
| 申请号： | 201911405229.2 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111020518A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 冯亚青;朱文俊;张敬娣;梁舰;敬文华;冯敏强;廖良生 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/12;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及机械技术领域，公开了一种基片蒸镀承载盘及真空蒸镀仪。基片蒸镀承载盘，用于真空蒸镀仪中，包括底盘和挡板组件，底盘上设有多个用于放置基片的承载部；挡板组件设置于底盘下方，挡板组件能相对底盘运动，且挡板组件用于切换是否蒸镀与切换所需蒸镀图形。本发明提供的基片蒸镀承载盘中的挡板组件可以遮挡蒸镀图形使对应的基片不蒸镀图形，还可以针对每个基片的蒸镀要求切换蒸镀图形，使蒸镀仪能同时蒸镀多个及多种类的基片，增加了蒸镀基片的种类和个数，提高了基片蒸镀承载盘的空间利用率和蒸镀仪的蒸镀效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基片蒸镀 承载 真空 蒸镀仪 | ||
【主权项】：
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