[发明专利]一种连续式制作玻璃基离子交换掩埋光波导的方法有效
| 申请号： | 201911405536.0 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111045149B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 郝寅雷;牛梦华;蒋建光;邓鑫宸;车录锋;周柯江;余辉;杨建义 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/134 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种连续式制作玻璃基离子交换掩埋光波导的方法。放置隧道式高温炉，隧道式高温炉内设有传送带和坩埚，传送带上悬挂有石英花篮，石英花篮沿传送带运输，隧道式高温炉设置有正电极滑轨，正电极滑轨其中一端经导线连接到外部直流电源的正极，坩埚内设置负电极并和外部直流电源的负极连接，石英花篮内设置正电极并和正电极滑轨连接；传送带的驱动结构作用下，传送带将石英花篮从隧道式高温炉的进口端输送入隧道式高温炉，经高温离子迁移反应后输送至隧道式高温炉的出口端。本发明提高了光波导芯片的一致性，使芯片合格率控制更方便，减少了固定资产投资，提高了光波导芯片的生产效率，降低了单位芯片的能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 制作 玻璃 离子交换 掩埋 波导 方法 | ||
【主权项】：
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