[发明专利]一种MOCVD制程含氨尾气制氢的非催化渗透性膜反应器及应用在审

专利信息
申请号: 201911406273.5 申请日: 2019-12-31
公开(公告)号: CN111115572A 公开(公告)日: 2020-05-08
发明(设计)人: 汪兰海;钟娅玲;陈运;唐金财;钟雨明;蔡跃明 申请(专利权)人: 浙江天采云集科技股份有限公司
主分类号: C01B3/04 分类号: C01B3/04;C01B3/50;C01B3/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 314400 浙江省嘉兴市海宁*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种MOCVD制程含氨尾气制氢的非催化渗透性膜反应器及应用,由含活性组分钴10~30%(w/w)、钼5~20%(w/w),含助催化组分镧1~10%(w/w),含促进剂钾1~5%(w/w),及含经预处理的碳纳米管(CNTs)35~83%(w/w)所组成的催化剂颗粒,装填于由氧化铝为支撑体上涂覆有金属钯膜层的陶瓷膜管内,形成填充于膜管内的催化剂固定床层的非催化渗透性膜反应器(PBCMR,Packed Bed Catalytic Membrane Reactor),MOCVD制程含氨尾气经预处理后进入膜反应器内,在反应温度为400~600℃,反应压力为1.0~3.0MPa下进行氨热裂解催化反应,反应气经吸附精制脱氨、变压吸附提纯及金属吸气剂纯化,得到纯度大于6~7N的氢气产品,返回到MOCVD制程中循环使用,为LED产业绿色与循环经济发展填补了空白。
搜索关键词: 一种 mocvd 制程含氨 尾气 催化 渗透性 反应器 应用
【主权项】:
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