[发明专利]一种金属化多晶硅红外微测辐射热计及其制备方法

摘要

本发明公开了一种金属化多晶硅红外微测辐射热计及其制备方法。该微测辐射热计包括硅衬底、吸收体和反射层，其中，吸收体位于硅衬底上方，吸收体是由二氧化硅/金属化多晶硅/二氧化硅/氮化硅构成的堆叠结构；吸收体的上方设有反射层，反射层与吸收体之间具有空腔。本发明增强吸收的金属化多晶硅红外微测辐射热计可以由标准的集成电路工艺技术制备获得，能够实现功能的高度集成化，功耗低，且具有成本优势。