[发明专利]一种微机电系统及其制备方法在审
| 申请号： | 201911408207.1 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113120850A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 孙丰沛;冯志宏;徐景辉 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00;B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微机电系统MEMS装置，包括：第一固定梳齿，第二固定梳齿，支撑梁，活动平台和活动梳齿；其中：所述第一固定梳齿和第二固定梳齿固定在基板上，所述第一固定梳齿和第二固定梳齿之间电学隔离；所述支撑梁的两端固定在基板上，所述活动平台连接在支撑梁上；所述活动梳齿连接在所述活动平台上，并与所述第一固定梳齿和第二固定梳齿形成三层梳齿结构。这样的结构提高了MEMS装置的驱动效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 系统 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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