[发明专利]移动单元及其驱动方法、电子设备、摄像模组有效
申请号: | 201911409304.2 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN113132611B | 公开(公告)日: | 2022-08-12 |
发明(设计)人: | 桂珞 | 申请(专利权)人: | 中芯集成电路(宁波)有限公司 |
主分类号: | H04N5/232 | 分类号: | H04N5/232;H04N5/225 |
代理公司: | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人: | 吴凡;高静 |
地址: | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种移动单元及其驱动方法、电子设备、摄像模组,其中,移动单元包括:固定平台;多个相间隔的固定电极,位于所述固定平台上;可动极板,悬空设置于所述固定平台上方;多组相间隔的位移模块,位于所述可动极板朝向所述固定电极的面上,所述位移模块与所述固定电极一一对应,所述位移模块包括多个沿预设移动方向间隔排列的控制电极,所述位移模块中预设移动方向间隔排列的所述控制电极的数量大于或等于三个。本发明提供的移动单元具有行程大、移动精度高的优点,有利于实现对被移动部件的位移的精确控制;而且,本发明提供的移动单元适用于半导体工艺制造,还有利于实现批量化生产、较低成本和较高的集成度。 | ||
搜索关键词: | 移动 单元 及其 驱动 方法 电子设备 摄像 模组 | ||
【主权项】:
暂无信息
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