[发明专利]一种抛光盘的驱动装置在审
| 申请号： | 201911410553.3 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111070079A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 杨兆明;颜凯;中原司 | 申请（专利权）人： | 浙江芯晖装备技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B55/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 刘金凤;赵燕力 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抛光盘的驱动装置，其包括固定盘、旋转机构、机架和平移机构，固定盘内设有冷却流道，固定盘上连接有抛光盘；旋转机构包括主轴和用于驱动主轴转动的第一驱动组件，固定盘连接于主轴的上端，主轴内穿设有与冷却流道相连通的冷却管，主轴的转动能带动固定盘和抛光盘同步转动；机架上设有支撑架，第一驱动组件连接于机架上；平移机构包括移动板和第二驱动组件，移动板套设于主轴的外部并与支撑架相接，第二驱动组件与移动板相接并能驱动移动板水平往复移动，移动板的移动能带动机架同步移动。本发明的抛光盘的驱动装置，既能对抛光盘冷却降温，又能充分利用抛光垫使用面积，避免同一位置抛光造成抛光垫过度损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 驱动 装置 | ||
【主权项】：
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