[发明专利]一种多探头扫描成像系统在审
| 申请号： | 201911412580.4 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111089545A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 苏胜飞 | 申请（专利权）人： | 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司;华讯方舟科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/22 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 唐双 |
| 地址： | 518102 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种多探头扫描成像系统，该多探头扫描成像系统包括：光源单元、参考臂光路单元、样品臂光路单元、样品检测台和信号处理单元；样品臂光路单元进一步包括探头选择装置以及与探头选择装置连接的至少两个探头；光源单元产生参考光和样品光，参考光通过参考臂光路，以形成参考回光；样品光通过至少两个探头中的一个探头照射到样品检测台的待检测样品上，以形成样品回光；信号处理单元探测参考回光和样品回光干涉产生的干涉光谱，并基于干涉光谱计算待检测样品的深度信息。通过上述方法，本申请可以实现多路扫描，分时对多样品进行扫描成像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探头 扫描 成像 系统 | ||
【主权项】：
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