[发明专利]一种增强拉曼效应的悬空衬底及其制备方法在审
申请号: | 201911413151.9 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN111157509A | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 武山;冷庆;汪靖萱;张朋 | 申请(专利权)人: | 阜阳师范大学 |
主分类号: | G01N21/65 | 分类号: | G01N21/65;B81C1/00 |
代理公司: | 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 | 代理人: | 张加宽 |
地址: | 236000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明属于检测拉曼光谱的技术领域,特别涉及一种增强拉曼效应的悬空衬底及其制备方法。所述增强拉曼效应的悬空衬底,包括纳米级厚度的悬空基片和沉积在所述悬空基片一侧的纳米级厚度的金属层,所述金属层上设置有周期性排列的通孔。本发明通过在悬空基片上镀一层纳米级厚度的金属,再利用聚焦离子束在金属层上加工周期穿孔阵列得到的衬底,方法简单,操作性强,成功率较高。 | ||
搜索关键词: | 一种 增强 效应 悬空 衬底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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