[发明专利]聚酰亚胺固化方法在审
| 申请号： | 201911413929.6 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111061127A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 张续朋;杨彦伟;刘宏亮;陆一锋 | 申请（专利权）人： | 芯思杰技术（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/40;G03F7/32 |
| 代理公司： | 深圳智汇远见知识产权代理有限公司 44481 | 代理人： | 沈园园 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种聚酰亚胺固化方法，该方法包括：将聚酰亚胺旋涂于预处理后的晶片表面；将已涂聚酰亚胺的晶片在第一预设温度烘烤第一预设时长；对经过第一预设时长烘烤后的晶片通过相应的光刻掩膜版进行曝光；对曝光后的晶片进行显影；将显影后的晶片放入烘箱内，充入惰性气体；按预设温度调控规则对烘箱进行温度调控，使烘箱内的晶片表面的聚酰亚胺固化在晶片表面。通过本申请能够防止固化后聚酰亚胺在后续的光刻腐蚀、酸碱清洗、退火等处理环节出现鼓包、脱落、变形等现象，从而提高涂有聚酰亚胺的产品的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 聚酰亚胺 固化 方法 | ||
【主权项】：
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