[发明专利]单旋转补偿器型光谱椭偏仪参数校准方法和装置有效
| 申请号： | 201911414188.3 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111122460B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 李伟奇;陈军;张传维;郭春付;刘世元 | 申请（专利权）人： | 武汉颐光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/27 | 分类号： | G01N21/27;G01N21/21;G01B11/00 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 谢洋 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区汤逊湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单旋转补偿器型光谱椭偏仪参数校准方法和装置，将任意厚度的标准样件作为待测样件，使用待校准的单旋转补偿器型光谱椭偏仪进行测量，对测量获得的光强谐波信号进行傅里叶分析，采用全局拟合算法，通过拟合测量光强信号和理论光强信号的傅里叶系数，获得首个波长点系统参数的校准结果。并以上一个波长点系统参数的校准结果作为下一个波长点系统参数的校准初值，采用逐波长拟合算法，获得每一个波长点的系统参数校准值，进而获得全光谱范围的系统参数。本发明中的基于全局拟合时由于参与拟合的全光谱内有几百上千个波长，因此计算得到的单波长系统参数已经非常接近系统参数真实值。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 补偿 光谱 椭偏仪 参数 校准 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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