[发明专利]用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构在审
| 申请号： | 201911415113.7 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN110958549A | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 林育菁;宫岛博志;佐野豊 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/02;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 柳岩 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构，用于MEMS器件的防尘结构包括网格膜及呈柱状结构的载体，网格膜具有固定连接区和透声区，固定连接区环绕在透声区周围，固定连接区位于网格膜的边缘；载体具有贯通的开口，开口与透声区的位置相对应，载体具有相对的第一端面和第二端面，第一端面连接在固定连接区的一侧，第二端面被配置为用于与MEMS器件的基板形成连接；载体在第一端面处沿柱状结构的周向的外轮廓大于载体在第二端面处沿柱状结构的周向的外轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mems 器件 防尘 结构 麦克风 封装 | ||
【主权项】：
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