[发明专利]一种液体辅助降低纳米带接触热阻的方法

摘要

本发明公开了一种液体辅助降低纳米带接触热阻的方法。在光学显微镜下，使用微操纵仪将一根纳米带搭接在热源、热沉上。在一尖头毛细管中注入可以润湿热源、热沉的液体，并用软管将毛细管较粗一端同注射器连接起来。将毛细管固定在微操纵仪上，操控微操纵仪将毛细管出液口移至热源或热沉上方，推动注射器，将毛细管中的液体挤出，挤出的液体在热源或热沉表面形成液膜。移开毛细管，热源或热沉上的液体迅速挥发，液体表面张力拉动纳米带贴紧在热源和热沉上，从而降低纳米带同热源和热沉之间的接触热阻。本发明所提出的方法成本低廉，对样品无污染、无损伤，可用于聚合物纳米带等无法进行电子束诱导沉积的样品上。