[发明专利]一种硅基Micro OLED微显示器阳极及其制备方法在审
| 申请号： | 201911416082.7 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111063828A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 曹贺;赵铮涛;李亮亮 | 申请（专利权）人： | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 尹婷婷 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种硅基Micro OLED微显示器阳极及其制备方法，采用清洗→涂布→曝光→显影→金属膜沉积→干法刻蚀灰化光刻胶→STR脱膜去胶的工艺进行制备，此工艺可避免传统的干法蚀刻金属膜过程中产生的污染，由于在STR脱膜去胶之前进行了干法刻蚀灰化光刻胶的预脱胶步骤，可避免光刻胶残留导致的电性不良等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 micro oled 显示器 阳极 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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