[发明专利]换能器及其制作方法有效
| 申请号： | 201911416898.X | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111203375B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 吴健兴;但强;吴伟昌;黎家健 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;H01L41/09;H01L41/25;H01L41/332 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 谷孝东 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及压电换能器领域，提供了一种换能器，所述换能器包括第一晶圆和第二晶圆，所述第一晶圆和第二晶圆均包括基底、固定在所述基底一侧的第一氧化物层、固定在所述基底另一侧的金属层、以及在所述第一氧化物层上依次沉积形成的氮化硅层、第一电极、压电层和第二电极，所述基底包括第一硅层、第二硅层和夹设于所述第一硅层和第二硅层之间的第二氧化物层；所述第一晶圆的金属层和所述第二晶圆的金属层固定连接；所述第一晶圆设有空腔和缝隙，所述第二晶圆设有空腔、第一缝隙和第二缝隙。同时，本发明还提供一种换能器的制作方法。与现有技术相比，通过两个晶圆设计，将SPL提升两倍，同时增加结构的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 换能器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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