[发明专利]一种工件擦拭装置、工件清洗设备和工件清洗工艺在审
| 申请号： | 201911417169.6 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN110899168A | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 刘少林;郑国清;胡佳洁 | 申请（专利权）人： | 深圳市比亚迪电子部品件有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 深圳龙图腾专利代理有限公司 44541 | 代理人： | 姜书新 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市大鹏新区葵涌街道延安路一号比亚迪工业园A3厂*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于芯片工艺技术领域，尤其涉及一种工件擦拭装置、工件清洗设备和工件清洗工艺。所述工件擦拭装置可与擦拭带配套使用，所述工件擦拭装置包括：支架；张紧机构，所述张紧机构设置在所述支架上，用于张紧擦拭工件的所述擦拭带；夹持机构，所述夹持机构设置在所述支架上，用于夹持所述张紧机构上的所述擦拭带，以使所述擦拭带夹持待擦拭工件；以及工件移动机构，用于搬运待擦拭工件至擦拭位置，并在所述擦拭带夹持工件后将工件移出。本发明实施例提供的一种工件擦拭装置，通过自动夹持擦拭带，进而使得擦拭带夹持工件，然后使工件与擦拭带发生相对运动，使得擦拭带对工件进行擦拭，实现了工件的自动化擦拭作业，提高了工件擦拭的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 擦拭 装置 清洗 设备 工艺 | ||
【主权项】：
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