[发明专利]离子源恒流控制装置、方法以及离子源系统有效
| 申请号： | 201911417952.2 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111176356B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 刘运鸿;刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;曾文华 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G05F1/46 | 分类号： | G05F1/46;G05D7/06;G05D29/00;G05B11/42;H01J27/14 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 刘延喜 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及离子源技术领域，特别涉及一种离子源恒流控制装置、方法以及离子源系统。所述方法包括如下步骤：在离子源工作过程中，实时检测离子源电源的实时电流值；计算所述实时电流值与给定电流值的电流差值，根据所述电流差值计算流量调整值；输出所述流量调整值控制输入离子源的气体流量大小，使得离子源电源恒流输出。上述技术方案，通过对离子源电源的实时电流检测，并与给定电流值进行计算差值，结合负载的情况，对输入离子源的气体流量进行控制调整，消除电流偏差，使得实际输出的电流值达到用户要求的给定电流值，实现动态的平衡和恒流输出的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 控制 装置 方法 以及 系统 | ||
【主权项】：
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