[发明专利]一种平面靶整组包装装置及整组包装方法在审
申请号: | 201911418448.4 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN110979864A | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 郭文明 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | B65B61/20 | 分类号: | B65B61/20;B65B55/20;B65B55/00;B65B31/00;B65B57/00;B65D77/04;B65D79/02;B65D81/05 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 李少欢 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种平面靶整组包装装置及整组包装方法,将多个平面靶固定在整组保护工装形成一包装整体,对平面靶的固定效果好,包装方式简单,提高包装效率,便于安装于溅射设备。 | ||
搜索关键词: | 一种 平面 靶整组 包装 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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