[发明专利]一种MOCVD制程含氨尾气制氢的催化渗透性膜反应器、其制备方法及其应用在审

专利信息
申请号: 201911419118.7 申请日: 2019-12-31
公开(公告)号: CN111137853A 公开(公告)日: 2020-05-12
发明(设计)人: 钟雨明;汪兰海;陈运;唐金财;蔡跃明;蒋强 申请(专利权)人: 四川天采科技有限责任公司
主分类号: C01B3/04 分类号: C01B3/04;B01J19/24;C01B3/56;C01B3/50
代理公司: 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 代理人: 张串串
地址: 610041 四川省成都市中国(四川)自由贸*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开一种MOCVD制程含氨尾气制氢的催化渗透性膜反应器,该膜反应器是由含5~10%(w/w,以下类同)金属钯分散在多孔的γ‑三氧化二铝陶瓷圆管为支撑体,含活性组分钴10~30%与钼5~20%、含助催化组分镧1~10%及含促进剂钾1~5%嵌入于经预处理的碳纳米管(CNTs)中且涂覆于氧化铝陶瓷圆管内壁的膜厚度为10nm~1μm、膜孔径为0.20~10nm所构成的无机碳纳米膜,形成一种同时具备催化活性与分离选择性的催化渗透性膜反应器,MOCVD制程含氨尾气经预处理后进入膜反应器内,反应温度为400~600℃,反应压力为2.0~5.0MPa下进行氨热裂解催化反应,反应产生的富氢气经吸附精制脱氨、变压吸附提纯及金属吸气剂纯化,得到纯度大于6~7N的氢气产品,返回到MOCVD制程中循环使用,为LED产业绿色与循环经济发展填补了空白。
搜索关键词: 一种 mocvd 制程含氨 尾气 催化 渗透性 反应器 制备 方法 及其 应用
【主权项】:
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