[发明专利]一种宽温域纳米复合结构碳基自润滑薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201911420210.5 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111041442B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 李泽清;何卫锋;张虹虹;聂祥樊;张广安;李应红 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 范巍 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种宽温域纳米复合结构碳基自润滑薄膜及其制备方法，属于涂层材料技术领域。本发明采用多靶非平衡溅射系统实现宽温域纳米复合结构碳基自润滑薄膜的制备，依次包括金属基体表面处理、在基体表面沉积Cr粘结层和WC掺杂的a‑C梯度过渡层、在过渡层表面交替沉积超晶格WC/a‑C纳米多层和a‑C纳米层。该纳米复合结构碳基薄膜在大气环境25‑350℃宽温域条件下具有良好的自润滑性能，有效的提高了非晶碳基润滑膜的适用温域，满足苛刻工况条件下机械部件表面的防护润滑需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宽温域 纳米 复合 结构 润滑 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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